常見的產(chǎn)生等離子體的方法是氣體放電，所謂氣體放電是指通過某種機制使一電子從氣體原子或分子中電離出來，形成的氣體媒質(zhì)稱為電離氣體，如果電離氣由外電場產(chǎn)生并形成傳導電流，這種現(xiàn)象稱為氣體放電。根據(jù)放電產(chǎn)生的機理、氣體的壓j源性質(zhì)以及電極的幾何形狀、氣體放電等離子體主要分為以下幾種形式：①輝光放電；③介質(zhì)阻擋放電；④射頻放電；⑤微波放電。無論哪一種形式產(chǎn)生的等離子體，都需要高壓放電。容易打火產(chǎn)生危險。由于對諸如氣態(tài)污染物的治理，一般要求在常壓下進行。 特點：① 不需要高成本的化學藥劑，運行穩(wěn)定，耐腐蝕，耐負荷沖擊能力大。② 針對特定有害氣體成份馴化適當?shù)奈⑸铮岣邌挝蝗莘e的負荷率。③ 填料采用有機無機混合填料，比表面積大，孔隙率高，并可為微生物提供營養(yǎng)，可支撐大量不同種群微生物群。④ 填料活性介質(zhì)的損失小、可減少能耗，降低運行費用。采用強化自然生物降解污染物，無二次污染物產(chǎn)生。VOC去除率高，對H2S的去除率可達99%。 PLC控制系統(tǒng)自動運行，無需人員管理設(shè)備。

光氧廢氣處理設(shè)備氣體分子被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達到降解污染物的目的。 光氧廢氣處理設(shè)備 特點：① 采用單級或多級串聯(lián)洗滌，對污染物去除徹底，去除效率高。② 處理高濃度惡臭廢氣具有明顯優(yōu)勢，運行穩(wěn)定。③ 具有啟動速度快、可間歇運行、耐沖擊負荷強、受溫度影響小、運行穩(wěn)定等特點。④ 自動化程度高，占地面積小,化學洗滌除臭設(shè)備適用于污水處理廠、制藥廠、化工廠等具有堿性或酸性且濃度比較高的尾氣治理?；钚蕴砍粼O(shè)備采取切線出風、環(huán)狀過濾、中間進風、上不加料、下部卸料的結(jié)構(gòu)，克服了傳統(tǒng)的活性炭過濾器過濾阻力大、面積小、占地面積大、設(shè)備投資高、更換活性炭困難等缺陷，使活性炭過濾設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計近乎于完美。

作為大氣污染的重要來源，工業(yè)廢氣的高校治理尤為重要。由于生產(chǎn)的工藝不同，工業(yè)廢氣產(chǎn)生的污染物種類也不同，不同污染物種類應(yīng)采用不同的處理工藝。目前，市場上常見的工業(yè)廢氣治理技術(shù)主要有：干法脫硫、濕法脫硫、物理/化學吸收法、煙氣脫硝、稀釋法、堿液中和法等等, 由于使用不同的吸收劑可獲得不同的副產(chǎn)物而加以利用，因此濕法脫硫是各國研究多的方法。由于工業(yè)廢氣的成分越來越復雜，單一的廢氣處理技術(shù)方法很難達到理想的處理效果。業(yè)內(nèi)人士認為，綜合兩種或兩種以上處理技術(shù)，以及占地空間小、處理效率高的設(shè)備將受到市場關(guān)注。 資料顯示，治理惡臭廢氣的核心技術(shù)是靜電等離子廢氣治理技術(shù)，輔助技術(shù)是酸堿洗滌技術(shù)和生物膜過濾技術(shù)。靜電等離子技術(shù)是靜電技術(shù)與等離子技術(shù)的完美結(jié)合的復合技術(shù)，將靜電技術(shù)的吸附和凝聚特性與等離子技術(shù)的荷電和裂解特性有機組合，形成了靜電等離子技術(shù)的四大技術(shù)優(yōu)勢：荷電、裂解、吸附和凝聚，而廢氣的凈化就是這四種特性共同作用完成的。